台积电1.4纳米级制造技术的开发正在顺利进行。台积电强调使用其2纳米级制造工艺的量产有望在2025年实现。
随着半导体工艺深入到5nm以下,制造的难度和成本日益增加。摩尔定律的物理极限大约在1nm左右,再往下就会面临严重的量子隧穿难题,这将导致晶体管失效。各大厂商在实际尺寸上采用的先进工艺仍有一定的余地,纸面上的1nm工艺仍可能存在。
台积电去年成立了一个团队来研发1.4nm工艺,CEO表示公司正在探索比1.4nm更先进的工艺。1.4nm工艺是半导体行业追求的目标之一,但将会面临很大的挑战。
2nm工艺之后是14A,也就是1.4nm工艺,预计在2026年问世,再往后就是A10工艺,也就是1nm,预计在2028年问世。
然而,实际量产时间可能会延后。在2nm节点之后,EUV光刻机需要进行大规模升级,ASML预计在2026年推出下一代EXE:5000系列,采用HighNA技术提高光刻分辨率。但下一代EUV光刻机的售价将从1.5亿美元上涨到4亿美元以上,甚至可能会进一步增加,这对制造商的成本控制能力提出了很大的考验。
本文关键词:1.4nm工艺
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